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智能型圖形反轉(zhuǎn)系統(tǒng) 圖像翻轉(zhuǎn)設(shè)備

發(fā)布時(shí)間: 2025-07-12 10:19

商品信息

智能型圖形反轉(zhuǎn)系統(tǒng) 圖像翻轉(zhuǎn)設(shè)備用途：

光刻圖形反轉(zhuǎn)是一種特殊的工藝，用于制作?半導(dǎo)體器件。在曝光結(jié)束后，光刻膠中的圖像與想要得到的圖像是相反的，即曝光區(qū)域在顯影后會(huì)形成孔洞而不是島區(qū)。這種工藝主要用于制作孔洞結(jié)構(gòu)，通過(guò)改變曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域的相對(duì)分解率來(lái)實(shí)現(xiàn)。

智能型圖形反轉(zhuǎn)系統(tǒng)適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料。

智能型圖形反轉(zhuǎn)系統(tǒng) 圖像翻轉(zhuǎn)設(shè)備特點(diǎn)：

NH3監(jiān)測(cè),報(bào)警提示功能

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

程序鎖定保護(hù)等功能

智能型圖形反轉(zhuǎn)系統(tǒng) 圖像翻轉(zhuǎn)設(shè)備技術(shù)性能：

1.尺寸（深*寬*高）

內(nèi)腔尺寸：300×300×300

450×450×450（mm）（可定制）

2. 材質(zhì)：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級(jí)不銹鋼

3.溫度范圍：RT+50-200℃

4.溫度分辨率：0.1℃